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SEMI

인증 소개 

SEMI란?

SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International)는 전 세계 반도체 및 마이크로·나노 전자산업의 제조 공급망을 지원하는 글로벌 산업협회로, 약 2,000여 개의 회원사를 보유하고 있습니다. SEMI는 반도체 제조에 필요한 장비와 재료, 기술 전반에 대한 국제 표준과 가이드라인을 제정하며, 산업의 효율성과 안전성을 높이는 데 중점을 두고 있습니다


특히, 반도체 장비의 위험요소를 제거하거나 통제하기 위해 EHS(Environment, Health, and Safety) 분야의 **S 시리즈 가이드(S2, S8 등)**를 제공하고 있습니다 이 가이드는 전기적, 기계적, 화학적, 전리 및 비전리 방사선 등 다양한 잠재적 위험에 대한 구체적이고 포괄적인 기술 기준을 제시하여 장비의 안전한 설계와 운용을 지원합니다


또한 SEMI는 글로벌 전자산업의 공급망(Supply Chain) 전반의 이익 증진을 목표로, 각국 산업 간의 협력과 기술 교류를 촉진합니다. 이를 위해 다양한 위원회 활동과 국제 전시회를 주최하며, 새로운 기술과 제품을 공유하는 장을 마련함으로써 산업 전반의 발전과 지속 가능한 성장을 이끌고 있습니다



관련 규격

  • SEMI S2 : 반도체 설비에 대한 EHS (Environment & Safety & Health)
  • SEMI S26 : 평판 디스플레이 설비에 대한 EHS (Environment & Safety & Health)
  • SEMI S1 : 안전라벨(Equipment Safety Labels)
  • SEMI S6 : 배기 환기 시스템에 대한 EHS (Exhaust Ventilation)
  • SEMI S8 : 인체 공학 기준 (Ergonomic Design)
  • SEMI S10 : 위험성 평가 기준 (Risk Assessment)
  • SEMI S13 : 메뉴얼 (Manual)
  • SEMI S14 : 화재 방지 및 위험성 평가 (Fire Risk assessment and Mitigation)
  • SEMI S17 : Unmanned Transport Vehicle(UTV) Systems.
  • SEMI S18 : 실란 계열 가스에 대한 EHS (Silane Family Gases Handling)
  • SEMI S22 : 전기 설계 (Electrical Design)
  • SEMI S23 : 에너지 세이빙 (Conservation of Energy)

대상 및 적용범위

케미컬, 장비자동화(하드웨어, 소프트웨어), 재료, 가스, 마이크로 패턴, 설비 및 안전, 패키징, 평판 디스플레이 등 반도체와 평판 디스플레이 장비 및 재료 


화학 및 공정 관련 장비

  • Abatement Equipment (배출가스 처리 장비)
  • Chemical Chillers (화학용 칠러)
  • Chemical Mechanical Planarization (CMP) Equipment (화학기계적 평탄화 장비)
  • Chemical Mixing and Dispensing (화학 혼합 및 분배 장비)
  • Chemical Vapor Deposition (CVD) Equipment (화학기상증착 장비)
  • Heated Chemical Bath (가열 화학욕조)
  • Wet Cleaning/Etch Equipment (습식 세정 및 식각 장비)


기계·조립·제조 장비 

  • Assembly Equipment (조립 장비)

  • Cluster Tools (클러스터 툴)

  • Factory Automation Equipment (공장 자동화 장비)

  • Process Control Equipment (공정 제어 장비)

  • Production Equipment (생산 장비)

  • Industrial Machinery (산업용 기계)

  • Robots and Robotic Equipment (로봇 및 로봇 장비)

  • Standard Mechanical Interfacers (SMIF) (기계 인터페이스 장비)


측정·검사 장비 

  • Analysis & Measurement Equipment (분석 및 측정 장비)
  • Defect Detection Equipment (결함 검출 장비)
  • Film Thickness Equipment (박막 두께 측정 장비)
  • Surface Inspection/Flatness Equipment (표면 검사 및 평탄도 측정 장비)
  • Probe Stations (프로브 스테이션)


전기·전자 및 제어 장비

  • Electric Industrial Control Equipment (전기 산업 제어 장비)

  • Electrical and Electronic Test & Measurement Equipment (전기·전자 시험 및 측정 장비)

  • Industrial Control Equipment (산업 제어 장비)

  • Power Supplies (전원 공급 장치)

  • Uninterruptible Power Supply Equipment (UPS, 무정전 전원 장치)


냉각·공조 관련 장비

  • Commercial Processing Water Chillers (산업용 냉각수 칠러)

  • Heating and Cooling Equipment (난방 및 냉각 장비)

  • Refrigeration and Air-conditioning Compressor Units (냉동·공조 압축기 유닛)

  • Water to Water Heat Exchangers (워터투워터 열교환기)

  • Recirculator (순환 냉각기)


진공 및 가스 관련 장비

  • Gas Handling Equipment (가스 처리 장비)

  • Cryo-pumps & Compressors (크라이오 펌프 및 압축기)

  • Turbo Molecular Pumps (터보 분자 펌프)

  • Vacuum Pumps (진공 펌프)

  • Ion Implantation Equipment (이온 주입 장비)


기타 장비

  • Cleanroom Equipment (클린룸 장비)

  • Elevators (엘리베이터)

  • Indexers (인덱서)

  • Lasers & Laser Equipment (레이저 및 레이저 장비)

  • Motor Operated Appliances (모터 구동 장치)

  • Motor-operated Air Compressors (모터 구동 공기압축기)

  • Prealigners (프리얼라이너)

  • Spin/Rinse Dryer (스핀 린스 드라이어)

  • Water Handling/Sorter/Storage (수처리·분류·저장 장비)

처리절차

STEP 1

서면 자료 검토

STEP 2

예비 평가

STEP 3

최종 평가 및 시험

STEP 4

SEMI 레포트 발행


케이에이에스에스(주) | KOLAS 공인시험기관


Email : kass@kasscert.co.kr

고객센터 : 031-366-3020

CE / SEMI / S마크 문의 : 010-6697-9674

해외·국내인증 문의 : 031-366-3020

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