시험 소개 

ESD 관리의 핵심 목적은 반도체 제조 장비에서 발생할 수 있는 정전기 및 전기장으로 인한 생산성 저하 요인을 최소화하는 데 있습니다.
정전기 표면 전하가 축적되면 공정 환경 전반에 다양한 문제를 일으킬 수 있으며, 이는 제품뿐 아니라 레티클에도 손상을 유발할 수 있습니다.
 또한 ESD는 전자파 간섭(EMI)을 증가시켜 장비의 오작동이나 비정상 동작을 초래할 수 있기 때문에 사전 예방 관리가 매우 중요합니다.

관련 규격

• SEMI E78, SEMI E33, SEMI E35, SEMI E43, SEMI E129, SEMI E163, ESDA s20.20

해당 제품군

• Electrostatic Field (정전기장 측정)
• Surface Resistance (표면저항 측정)
• Evaluation of Ionizers (이오나이저 성능평가)